離子滲氮又稱輝光滲氮，是利用輝光放電原理進(jìn)行的。把金屬工件作為陰極放入通有含氮介質(zhì)的負(fù)壓容器中，通電后介質(zhì)中的氮氫原子被電離，在陰陽極之間形成等離子區(qū)。在等離子區(qū)強(qiáng)電場作用下，氮和氫的正離子以高速向工件表面轟擊。離子的高動能轉(zhuǎn)變?yōu)闊崮?，加熱工件表面至所需溫度。由于離子的轟擊，工件表面產(chǎn)生原子濺射，因而得到凈化，同時由于吸附和擴(kuò)散作用，氮遂滲入工件表面。

與一般的氣體滲氮相比，離子滲氮的特點是：①可適當(dāng)縮短滲氮周期；②滲氮層脆性??；③可節(jié)約能源和氨的消耗量；④對不需要滲氮的部分可屏蔽起來，實現(xiàn)局部滲氮；⑤離子轟擊有凈化表面作用，能去除工件表面鈍化膜，可使不銹鋼、耐熱鋼工件直接滲氮；⑥滲層厚度和組織可以控制。 離子滲氮發(fā)展迅速，已用于機(jī)床絲桿、齒輪、模具等工件。 離子滲氮的優(yōu)點：滲氮時間短，質(zhì)量容易控制，氮化層耐疲勞、有高強(qiáng)度，由于氮化溫度在520-540，所以工件變形小，表面抗磁性高。

離子滲氮的缺點：設(shè)備控制復(fù)雜，爐溫均勻性不好。