離子滲氮是在真空環(huán)境中進行的，因此了解真空泵的工作原理有利于日常的工作。下面就跟青島豐東小編一起來了解一下離子滲氮真空的獲取吧！

離子滲氮所使用的羅茨泵的結(jié)構(gòu)如圖1所示。在泵腔內(nèi)，有二個“8”字形的你做轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對平行軸上，由傳動比為1的一對齒輪帶動做彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運動。在轉(zhuǎn)子之間，轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間，保持有一定的間隙。由于羅茨泵是一種無內(nèi)壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故中、高真空羅茨泵需要前級泵。因此，羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外，還取決于前級泵的極限真空度。

離子滲氮所用羅茨泵的工作原理既具有容積泵的工作原理，又有分子泵的抽氣效應(yīng)。圖2為羅茨泵的工作原理圖。

圖1 圖2

由于轉(zhuǎn)子的連續(xù)旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從泵進氣口吸入到下轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間V0內(nèi)，吸氣后V0空間是全封閉狀態(tài)。隨著轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動，封閉的V0空間與排氣口相通，由于排氣側(cè)氣體壓力較高，引起一部分氣體反沖過來，使V0空間內(nèi)的氣體壓力突然增高。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動時，V0空間內(nèi)原來封入的氣體連同反沖的氣體一起被排向泵外。這時，上轉(zhuǎn)子又從泵入口封入V0體積的氣體。由于泵的連續(xù)運轉(zhuǎn)，使兩個轉(zhuǎn)子不停地形成封閉空間V0又不停地將封閉空間璣內(nèi)的氣體排出泵外，從而實現(xiàn)了抽氣的目的。

了解離子氮化羅茨泵的工作原理，有利于發(fā)現(xiàn)并解決現(xiàn)場生產(chǎn)中遇到的問題。